ICS??????31.31-070
T/CEIA
團(tuán)???????????體???????????標(biāo)???????????準(zhǔn)
T/CEIA-1002—2020
電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求
General Requirements for Antistatic Systems in Electronic Industry
2 0?2?0 –?0?9?–?0?1?發(fā)?布
中國電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)防靜電裝備分會(huì)???發(fā)布
T/CEIA-1002—2020
目????次
5.1???產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn) 6
附錄A???(規(guī)范性附錄) ESD?防護(hù)項(xiàng)目的輔助評測 15
附錄B ??(規(guī)范性附錄)電子產(chǎn)品靜電敏感度測試 16
圖 2?共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí) 8
圖 3 防靜電工作區(qū)(EPA>?標(biāo)?識(shí) 11
圖 5?靜電敏感電子產(chǎn)品標(biāo)識(shí)? 14
表 4??防靜電工作區(qū)(EPA)防靜電裝備(用品)技術(shù)要求一覽表? 12
表B.1?電子元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測試標(biāo)準(zhǔn)? 17
T/CEIA?-1002—2020
前?????言
本標(biāo)準(zhǔn)針對電子工業(yè)使用的靜電敏感電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、測試、使用、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、維護(hù)等環(huán)節(jié)所建?立的防靜電系統(tǒng)，提出了詳細(xì)的要求，包括防靜電管理和技術(shù)兩方面，可作為電子工業(yè)防靜電體系構(gòu)建?與管理指南。
本標(biāo)準(zhǔn)參照了國內(nèi)外相關(guān)防靜電體系的構(gòu)建、管理、測試方法等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合國內(nèi)電子工業(yè)現(xiàn)?狀編寫而成。
請注意本標(biāo)準(zhǔn)的某些內(nèi)容可能涉及專利。本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。
《電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求》是根據(jù)靜電行業(yè)發(fā)展需要，以及靜電企業(yè)和生產(chǎn)單位的實(shí)際需求，?由中國電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)防靜電裝備分會(huì)提出并組織編制的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：蘇州天華超凈科技股份有限公司、深圳市亨達(dá)洋靜電技術(shù)有限公司、上海碩?榮電子科技有限公司、浙江三威防靜電裝備有限公司、上海佰斯特電子工程有限公司、華東理工大學(xué)華?昌聚合物有限公司、北京東方計(jì)量測試研究所、東莞市科園防靜電設(shè)備有限公司、東莞市寧楚智能科技?有限公司、東莞市中芯防靜電科技有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：王榮剛、鄧飛、孫思宇、劉清松、莊載榮、莊佐華、朱雪梅、王曉東、高志良、?王春元、談平、徐群。
本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人：孫延林、裴振華、孫可平、歐陽吉庭、王大千。
引
言
本標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了電子工業(yè)防靜電基本要求，其源于有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、經(jīng)驗(yàn)與試驗(yàn)結(jié)果。防靜電原理作為本標(biāo)?準(zhǔn)的技術(shù)基礎(chǔ)，簡述如下：
——為防止帶靜電物體(人員、物品、測試生產(chǎn)設(shè)備等)對靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生靜電感應(yīng)和發(fā)生?放電，可將生產(chǎn)場所中包括人員在內(nèi)的所有導(dǎo)體(測試儀器、生產(chǎn)設(shè)備等等)、靜電耗散體(工?作表面、地坪等等)電氣連接至接地系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。此連接建立了所有導(dǎo)體、靜電耗散體、人員?等之間的等電位，只要防靜電工作區(qū)中所有導(dǎo)靜電物體的電勢相同，電勢差就可維持在一個(gè)近?似“零”伏電位的水平，從而消除相互之間靜電放電的發(fā)生；
—生產(chǎn)場所中所用的帶靜電絕緣材料、制品(如電路板材料、絕緣包裝等)和孤立導(dǎo)體不能或不?便通過接地來泄放靜電，空氣電離方法可通過釋放正、負(fù)空氣離子來消除這些絕緣材料、制品、?孤立導(dǎo)體上的靜電荷；
——在防靜電工作區(qū)之外，上述措施無法實(shí)現(xiàn)或不便于實(shí)現(xiàn)，防靜電包裝的使用就成了必不可少防?靜電措施。防靜電可通過將靜電敏感電子產(chǎn)品封閉在防靜電包裝中實(shí)現(xiàn)。所選包裝類型取決于?使用場所、使用目的。在防靜電工作區(qū)內(nèi)，靜電耗散包裝能提供足夠的保護(hù)。在防靜電工作區(qū)?外，建議使用靜電放電屏蔽包裝或其它隔離方法。雖然本標(biāo)準(zhǔn)中沒有討論這些包裝材料與隔離?方法，但了解在應(yīng)用上的差異很有必要；
——生產(chǎn)場所中靜電源產(chǎn)生的靜電場可對靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生損害，采取主動(dòng)屏蔽、被動(dòng)屏蔽措?施能夠避免這種損害；
——工作環(huán)境的濕度要求對遏制靜電的產(chǎn)生具有重要意義。本標(biāo)準(zhǔn)雖不探討但提出了防靜電工作區(qū)?的濕度范圍。
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電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求
1??范圍
本標(biāo)準(zhǔn)涵蓋電子工業(yè)設(shè)計(jì)、制造、測試、使用、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、維護(hù)等過程中的防靜電技術(shù)與管理方?面的基本要求，為各電子企業(yè)、科研院所、實(shí)驗(yàn)室等構(gòu)建防靜電工作區(qū)、采用防靜電技術(shù)、建立防靜電?質(zhì)量管理體系等提供指導(dǎo)依據(jù)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于靜電敏感電壓大于等于人體放電模型100V、大于等于帶電器件模型200V的電子元器?件、電氣產(chǎn)品的生產(chǎn)、測試、包裝、存儲(chǔ)等，包括防靜電工作區(qū)內(nèi)孤立導(dǎo)體靜電電壓大于等于35V的技?術(shù)要求。對于靜電敏感度電壓值小于上述要求的靜電敏感電子產(chǎn)品，本標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)、管理要求仍然適用，?但是需要根據(jù)產(chǎn)品防護(hù)要求進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑鲅a(bǔ)或刪減。
本標(biāo)準(zhǔn)不適合作為易燃易爆氣體、粉體、液體和化工品、火工品等作業(yè)場所的技術(shù)、管理規(guī)范，如?電子工業(yè)生產(chǎn)涉及到此類場所，還應(yīng)參照和符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、法律法規(guī)要求。
2??規(guī)范性引用文件
凡是標(biāo)注日期的引用文件，僅所標(biāo)注日期的版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。凡是不標(biāo)注日期的引用文件，其最?新版本(包括所有的修改單)適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB/T?15463?靜電安全術(shù)語
GB?18871 ?電離輻射防護(hù)與輻射源安全基本標(biāo)準(zhǔn)
GB/T?19000?質(zhì)量管理體系?基礎(chǔ)和術(shù)語
GB/T?33555?潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南
GB?50073 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GJB?86?防靜電包裝手冊
SJ/T10694?電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測方法
SJ/T?11446 離子化靜電消除器通用規(guī)范
SJ/T???11587 ?電子產(chǎn)品防靜電包裝技術(shù)要求
IEC61340-2-2 ??靜電學(xué)第2-?2部分：測試方法——起電量測試?(Electrostatics–part????????????????2-2:
Measurement ????methods-Measurement ?????of ????chargeability)
IEC61340-5-1??靜電學(xué)第5-1部分：電子器件的防靜電——通用要求Electrostatics????????-Part????????5-1:
Protection ????of ????electronic ????devices ????from ????electrostatic ?????phenomena ????-General ????requirements)
ANSI/ESD?S20.20?靜電放電控制程序(英文原文)
3??術(shù)語和定義、縮略語
3.1??術(shù)語和定義
GB/T ?15463和GB/T?19000規(guī)定的術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
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3.1.1????靜電放電?(ESD)
兩個(gè)具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或者靜電場感應(yīng)引起高電位物體向低電位物體快速轉(zhuǎn)?移靜電電荷過程。
3.1.2 ?防靜電/靜電防護(hù)
為防止靜電放電所采取的各種技術(shù)、管理方法或防護(hù)措施。
3.1.3????防靜電工作區(qū) (EPA)
配備各種防靜電裝備(用品)和設(shè)置接地系統(tǒng)，能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的場所。
3.1.4??防靜電接地
防靜電材料或防靜電制品通過導(dǎo)體與大地實(shí)現(xiàn)電氣連接，使其與大地的電位相近并提供泄漏電荷的?通道。
3.1.5??防靜電接地系統(tǒng)
將靜電泄放到大地和實(shí)現(xiàn)等電位連接而配置的接地線系統(tǒng)，又稱ESD接地系統(tǒng)。
3.1.6??離子化靜電消除器
能使空氣電離產(chǎn)生正、負(fù)離子，中和帶電體上的表面異性電荷的靜電消除裝置。
3.1.7??組織
電子工業(yè)企業(yè)中，負(fù)責(zé)處置靜電敏感電子產(chǎn)品的專業(yè)部門或團(tuán)體，也可以是具有相應(yīng)能力的外包單?位。
3.1.8??防靜電方針
由組織最高管理者正式發(fā)布的關(guān)于防靜電方面全面意圖或方向。
3.1.9??處置
在靜電敏感電子產(chǎn)品的采購、制造、加工、組裝、包裝、標(biāo)識(shí)、維修、測試、環(huán)境實(shí)驗(yàn)、儲(chǔ)存、分?發(fā)和運(yùn)輸?shù)冗^程中，直接或者間接作用于產(chǎn)品的活動(dòng)。
超過電子產(chǎn)品最高額定電流的電流。
3.1.10??靜電放電敏感度
3.1.23??人體電壓
電子元器件能夠耐受相應(yīng)放電模型的最大靜電放電電壓值或者設(shè)置的相應(yīng)級別。
人體由于自身行動(dòng)或與其它帶電物體相靠近或接觸，在人體產(chǎn)生并積聚靜電，形成的人體電壓。
3.1.11??防靜電包裝
3.1.24??儀器驗(yàn)證
為靜電敏感電子產(chǎn)品提供具有防靜電功能的包裝物品或材料，如包裝袋、填充物、中轉(zhuǎn)箱、集成電?路包裝管等。
3.1.12??公共接地點(diǎn)
為達(dá)到等電位而設(shè)置的共用接地連接點(diǎn)。
3.1.13??設(shè)備保護(hù)接地
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EP???????????防靜電工作區(qū)(Electrostatic ??protection ??area)
EOS——電過應(yīng)力(Electrical over-stress)
ESI??????????靜電放電?(Electrostatic ??Discharge)
ESDS——靜電放電敏感的 (Electrostatic??discharge??sensitive)
HBM——人體放電模型?(Human ???body ????model)
4??管理要求
4.1??人員安全
由于本標(biāo)準(zhǔn)涉及的工作環(huán)境存在人員觸電的危險(xiǎn)，所以采用本標(biāo)準(zhǔn)的企業(yè)應(yīng)選擇符合相關(guān)法規(guī)、國?內(nèi)外安全要求的設(shè)備。用戶應(yīng)注意，本標(biāo)準(zhǔn)不能取代或代替任何其它關(guān)于人員安全的規(guī)定。
用戶應(yīng)采取防止電氣危害的措施，采用有關(guān)設(shè)備正確接地的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。凡涉及人員的安全規(guī)定與?要求，用戶應(yīng)確保符合相關(guān)法規(guī)規(guī)定并認(rèn)真執(zhí)行。
4.2.1 ?每個(gè)企業(yè)應(yīng)設(shè)置專門的組織來負(fù)責(zé)防靜電事項(xiàng)。組織應(yīng)由?ESD 專職人員、生產(chǎn)、工程、品質(zhì)、 采購、維修、人力資源、基建、研發(fā)、工藝、文檔部門等人員組成。
4.2.2 ?組織負(fù)責(zé)提出防靜電管理目標(biāo)，根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)和管理目標(biāo)要求建立防靜電質(zhì)量管理體系，并明確?每個(gè)部門的職責(zé)范圍，同時(shí)也負(fù)責(zé)防靜電質(zhì)量管理體系日常監(jiān)督和運(yùn)維管理。
4.2.3??組織內(nèi)至少有2名經(jīng)過國家相關(guān)專業(yè)培訓(xùn)機(jī)構(gòu)培訓(xùn)并獲得執(zhí)業(yè)資格的ESD?工程師。
4.2.4 ?組織定期負(fù)責(zé)對企業(yè)的防靜電管理體系進(jìn)行周期性修訂、更新或擴(kuò)展。
4.2.5 ?企業(yè)最高管理者是組織的最高行政領(lǐng)導(dǎo)，職責(zé)如下：
4.3.4??防靜電管理體系
4.2.6?防靜電專員應(yīng)是參加防靜電質(zhì)量管理體系決策的最高管理層成員，并被授予以下職責(zé)：
4.3??管理項(xiàng)目
4.3.1??防靜電管理目標(biāo)
4.3.1.1 ?組織內(nèi)各職能部門分層次制定防靜電管理目標(biāo)。防靜電目標(biāo)應(yīng)具體并可量化、考核。
4.3.1.2 ?防靜電管理目標(biāo)應(yīng)與企業(yè)管理相適應(yīng)，并能滿足用戶的質(zhì)量要求。
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4.3.5??監(jiān)督與審查
4.3.5.1 ?組織負(fù)責(zé)或請第三方機(jī)構(gòu)定期監(jiān)督防靜電質(zhì)量體系的執(zhí)行情況，同時(shí)提出核查和改進(jìn)意見并?存檔。
4.3.5.2 ?防靜電專員負(fù)責(zé)組織編制周期監(jiān)督審查報(bào)告，并定期向企業(yè)最高管理者匯報(bào)，以改進(jìn)和完善?防靜電質(zhì)量管理體系。
4.3.5.3 ?宜結(jié)合組織內(nèi)部的實(shí)際情況開展相適應(yīng)的評價(jià)活動(dòng)，不限于第三方機(jī)構(gòu)定期監(jiān)督的方式要求。
5??檢驗(yàn)與驗(yàn)證
5.1??產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)
5.1.1??所有防靜電裝備(用品)應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)表1、表2、表3、表4提出防靜電裝備(用品)的測試?方法和要求。
5.1.2 ?能夠認(rèn)可的檢測報(bào)告依據(jù)如下：
5.2??符合性驗(yàn)證
5.2.1 ?符合性驗(yàn)證用來復(fù)核產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)結(jié)果。
5.2.2 ?在符合性驗(yàn)證方案中應(yīng)確定技術(shù)要求、測量限值和檢驗(yàn)頻次。
5.2.3 ?符合性驗(yàn)證應(yīng)規(guī)定測試方法、測試儀器性能，尤其關(guān)注特殊工藝環(huán)境對防靜電裝備(用品)防?靜電參數(shù)的影響。
5.2.4 ?如果組織使用與符合性驗(yàn)證方案規(guī)定的不同測試方法，則必須在防靜電技術(shù)方案中做修正聲明，?并且評估通過其測試方法。對應(yīng)的記錄要存檔。
5.2.5 ?對于符合性驗(yàn)證中采用在線監(jiān)測儀器或系統(tǒng)、智能化驗(yàn)證時(shí)，組織與客戶需認(rèn)可監(jiān)測的參數(shù)和?技術(shù)方法。
5.2.6 ?在整個(gè)使用階段組織應(yīng)對檢驗(yàn)儀器設(shè)備進(jìn)行全過程的性能質(zhì)量評價(jià)，以確保儀器穩(wěn)定可靠。
6??技術(shù)要求
6.1??EPA?構(gòu)建基本原則
6.1.1 ?????所有ESD?控制項(xiàng)目需要可靠接地，應(yīng)將?ESD?控制項(xiàng)目連接實(shí)現(xiàn)等電位，以減少或消除?ESD現(xiàn)象。
6.1.2 ?對于高壓設(shè)備產(chǎn)生的強(qiáng)電場，對靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生不良影響時(shí)，應(yīng)采用主動(dòng)屏蔽或被動(dòng)屏?蔽措施，或采取避開措施以免造成感應(yīng)帶電。
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ESD接地不便利用設(shè)備安全保護(hù)接地時(shí)，可選用功能性接地。如允許設(shè)備安全保護(hù)接地與功能接地?連接，建議將功能接地系統(tǒng)接地端與設(shè)備安全保護(hù)接地系統(tǒng)接地端采用共用接地極(點(diǎn))方式。
若無設(shè)備安全保護(hù)接地、功能性接地系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)將操作現(xiàn)場所有ESD裝備、用品接地線與現(xiàn)場其它?可接地的金屬導(dǎo)體連接到共用接地極(點(diǎn)),其可以是接線端(排),也可以是一個(gè)大的金屬體，如金 屬隔斷、金屬管道等。共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí)見圖2。
圖2??共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí)
表1??接地/等電位連接要求
| 技術(shù)要求 | 接地類型及連接方法 | 連接限值要求 | 測試方法 |
|
接地/等電位連接系統(tǒng) |
保護(hù)接地 | 交流阻抗<1.0Ω | SJ/T10694 |
| 功能接地 | <25Ω | SJ/T10694 | |
| 等電位連接 | <1.0×10° | SJ/T10694 |
6.2.3??人員接地
操作靜電敏感電子產(chǎn)品的人員，都要采取人員接地措施。人員接地有兩個(gè)方法：一是使用腕帶系統(tǒng)，?二是使用地板/鞋系統(tǒng)。
對坐姿崗位的人員，必須使用腕帶系統(tǒng)。對于站姿或流動(dòng)操作人員，為保障操作人員人體電位盡可?能與大地等電位，應(yīng)優(yōu)先選擇腕帶接地系統(tǒng)，在人員移動(dòng)過程中可以暫時(shí)脫離腕帶接地，使用地板/鞋?系統(tǒng)接地。
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表2??人員接地要求
|
技術(shù)要求 |
ESD防護(hù)物品 |
產(chǎn)品認(rèn)可 | 符合性驗(yàn)證 | ||
| 技術(shù)要求 | 測試方法 | 技術(shù)要求 | 測試方法 | ||
|
人員接地 |
腕帶線電阻 |
0.8×10?<R
<1.2×10? Ω |
SJ/T10694 |
0.8×10?<R
<1.2×10?Q |
SJ/T?10694 |
|
腕帶表面對接 地扣電阻 |
SJ/T10694 | ||||
| R≤1×10? Ω | 一內(nèi)表面 | 不適用 | |||
| R>1×10’2 | 一外表面 | 不適用 | |||
|
人體腕帶系統(tǒng) |
0.75×10?<R??<3.5×10’Ω |
SJ/T10694 |
0.75×10?<R?<3.5×100 |
SJ/T?10694 |
|
| 鞋類 | R.≤1×10Ω | SJ/T10694 | 不適用 | ||
|
人員/鞋/地板 系統(tǒng) |
R??≤1.0×10?Ω和?人體電壓的絕對值
<100V(5個(gè)最高峰值 的平均值) |
SJ/T10694??ESD?STM97.2?IEC61340-4-5 |
R??≤1.0×10°2 |
SJ/T?10694 |
|
| 人員/鞋系統(tǒng) | 不適用 | R<3.5×10Ω | SJ/T?10694 | ||
| (1)ESD服裝作為腕帶接地路徑組成的情況下，總系統(tǒng)電阻應(yīng)小于3.5×10?2。總系統(tǒng)電阻包括人員、服裝和接地電?阻?；
(2)本表中使用的符號：?R對地電阻，?R對接地點(diǎn)的電阻； (3)采用IEC?61340-4-3標(biāo)準(zhǔn)，對于鞋類的產(chǎn)品認(rèn)可測試環(huán)境條件濕度宜為(12±3)%RH,溫度宜23℃±2℃; (4)定期進(jìn)行人體電壓測試，峰值電壓絕對值應(yīng)小于100V; (5)人/鞋系統(tǒng)：對每只腳逐個(gè)測試，每只腳電阻R?<3.5×10Q; (6)人/鞋/地板系統(tǒng)：符合性驗(yàn)證時(shí)，電阻限值R?<1.0×10°Ω;產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)時(shí)，人體峰值電壓平均值的絕對值<?100V。 (7)當(dāng)對人員/鞋/地板系統(tǒng)進(jìn)行測試時(shí)，可以根據(jù)實(shí)際情況選擇測試方法中的任意一種實(shí)施，滿足相應(yīng)判定條件。 |
|||||
6.2.4????EPA 內(nèi)防靜電接地要求
6.2.4.1 ?地線連接可采用焊接、壓接、螺栓等方式連接，要避免纏繞并滿足一定機(jī)械強(qiáng)度要求和采取 防銹防腐措施。
6.2.4.2 ?靜電耗散材料與接地線導(dǎo)線連接采取面接觸方式(例如：與接地導(dǎo)線焊接一起的銅箔與桌墊?接觸面積宜大于10cm2)。
6.2.4.3 ?防靜電裝備(工作臺(tái)、貨架等)與接地匯流線、接地極之間連接線盡可能短，如有必要可采?取防撞擊、碾壓措施。
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6.3.2????EPA?管控規(guī)則
6.3.2.1??一個(gè)防靜電工作區(qū)?(EPA)?可以是一個(gè)工作臺(tái)、單個(gè)操作間、整棟生產(chǎn)車間等，應(yīng)有明確的界?限標(biāo)識(shí)。防靜電工作區(qū)(EPA)?的警告標(biāo)志應(yīng)張貼在工作人員進(jìn)入?yún)^(qū)域的入口之處，并且能清晰可見(見?圖?3?)?。
6.3.2.2 ??????應(yīng)在防靜電工作區(qū)?(EPA) ?內(nèi)處置靜電敏感電子產(chǎn)品，包括元器件，半成品，成品等。只有完 成了防靜電培訓(xùn)的人員，才能進(jìn)入防靜電工作區(qū)?(EPA)?。 未受過培訓(xùn)的人員進(jìn)入?EPA,?應(yīng)有受過培訓(xùn)的?人員陪同。
6.3.2.3 ??????為了減少因CDM?模式造成靜電敏感電子產(chǎn)品損壞，對各工序中所接觸的絕緣體(絕緣材料)、?孤立導(dǎo)體產(chǎn)生靜電的處理方案如下：
——絕緣體、孤立導(dǎo)體表面靜電電壓絕對值達(dá)到或超過2000V, ?則該絕緣體、孤立導(dǎo)體表面與靜電 敏感電子產(chǎn)品保持至少30cm?以上距離；
——絕緣體、孤立導(dǎo)體表面的靜電電壓絕對值達(dá)到或超過125V,?則該絕緣體、孤立導(dǎo)體表面應(yīng)與靜?電敏感電子產(chǎn)品保持至少2.5cm?以上的距離；
——孤立導(dǎo)體表面靜電電壓絕對值超過規(guī)定的35V 時(shí)，可利用離子化靜電消除技術(shù)消除其靜電或采?取隔離、靜電屏蔽等措施。
6.3.2.4??所有與處置靜電敏感電子產(chǎn)品無關(guān)的絕緣體，例如：塑料制品、雞毛撣子、廢品盒等不允許?放置在靜電敏感電子產(chǎn)品的處置區(qū)域，至少遠(yuǎn)離30cm 以上距離。
6.3.2.5??離子化靜電消除器使用、管理原則：
——所用離子化靜電消除器殘余電壓值低于所處置靜電敏感電子產(chǎn)品靜電敏感度電壓值；
離子化靜電消除器使用現(xiàn)場，應(yīng)避免干擾氣流存在，所用壓縮氣源潔凈度符合要求；?——正確選擇各類離子化靜電消除器，以滿足各類工序消除靜電的要求；
……離子化靜電消除器使用時(shí)產(chǎn)生的污染(由放電針本身產(chǎn)生的濺射微粒子等原因造成),對靜電
敏感電子產(chǎn)品、生產(chǎn)環(huán)境潔凈度不能造成不良影響，如有影響則需要采取必要的防護(hù)措施；
—??對于環(huán)境潔凈度要求很高?(GB50073規(guī)定的1—4級)的智能化自動(dòng)生產(chǎn)線，可使用X射線離子?化靜電消除器，但現(xiàn)場應(yīng)采取電離輻射防護(hù)措施和符合標(biāo)準(zhǔn)GB18871有關(guān)電離輻射安全標(biāo)準(zhǔn)要 求；
——定期對離子化靜電消除器保養(yǎng)、維護(hù)、檢驗(yàn)，其臭氧、噪音、安全性等符合?SJ/T?11446?標(biāo)準(zhǔn)?要?求?。
注意
防靜電保護(hù)區(qū)
接觸靜電放電敏感元件時(shí)
請采取適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施
圖3??防靜電工作區(qū)?(EPA)?標(biāo)識(shí)
表4列出了EPA內(nèi)可供選擇的防靜電項(xiàng)目，其技術(shù)限值及測試方法必須遵守。
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表4??防靜電工作區(qū)?(EPA)?防靜電裝備(用品)技術(shù)要求一覽表
| 技術(shù)要求?范圍 | 防靜電項(xiàng)目 | 產(chǎn)品認(rèn)可 | 符合性驗(yàn)證 | |||
| 技術(shù)要求 | 測試方法 | 技術(shù)要求 | 測試方法 | |||
|
防靜電工 作區(qū) (EPA) |
工作臺(tái)面，儲(chǔ)存架，手?推車、傳輸帶 | R?<1×10°0?R<1×10°Q | SJ/T10694 | R,<1×10°Q?R<1×10°2 | SJ/T?10694 | |
| 手腕帶接地點(diǎn) | R?<29 | SJ/T10694 | R?<29 | SJ/T?10694 | ||
| 雙回路腕帶 | R:>1×10°Ω | 采用絕緣電阻測?試儀測試 | R.>1×10°Ω | 采用絕緣電阻測?試儀測試 | ||
| 地板 | Rm<1×10°2
Rr<1×10°8 |
SJ/T10694 | R?<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 座椅 | R?<1×10°Q?Rp<1×10° | SJ/T10694 | R?<1×1092?R?<1×10° | SJ/T?10694 | ||
|
離子化靜電消除器 |
衰減時(shí)間由用戶自己確定?IBVI<35V
工作范圍符合企業(yè)規(guī)范要求 |
SJ/T10694 |
衰減時(shí)間由用戶確定?IBVI<35V
工作范圍符合企業(yè)規(guī)范要求 |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電工作區(qū)(EPA)
現(xiàn)場靜電參數(shù)在線監(jiān) 測器? |
用戶自定 | 制造商產(chǎn)品手冊 | 用戶自定 | 制造商產(chǎn)品手冊 | ||
|
服裝 |
Ro<1×10″Q
(防靜電服) |
ST/T10694 | R,<1×10Ω | SJ/T?10694 | ||
| Ro<1×10°Ω
R‰<1×10°Ω (可接地防靜電服) |
SJ/T10694 |
R?<1×10?2??R<1×10° |
SJ/T?10694 |
|||
| R.<3.5×10’Ω
(可監(jiān)測防靜電系統(tǒng)) |
(ANSI/ESD?STM2.1) | R.<3.5×10a | (ANSI/ESD?STM2.1) | |||
| 防靜電工具
(無電源類):鑷子、 刷子、改錐等。 |
R?o<1×10? |
SJ/T10694 |
Rp,<1×10° |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電工具(有電源 ?類):烙鐵、電批等。 | R?<2Ω;?I?<10mA;
U,<20mV; |
SJ/T10694 |
R?<2Ω; |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電手套、指套 | R<1×10°??Roo<1×10″2 | SJ/T10694 | R,<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 包?裝 | 靜電耗散
材料 |
1×10?≤R.<1×10″s2
1×10?≤R.<1×10″Q 1×10?≤R,<1×10″Ω |
SJ/T10694 | 1×10?≤R
<1×10″2 |
SJ/T?10694 | |
| 導(dǎo)靜電材料 | R?<1×10? Ω??R.<1×10? Ω
Ru<1×10Ω |
SJ/T10694 | Ro,<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 靜電放電屏蔽型 | <20nJ | SJ/T10694 | ||||
| 低起靜電材料 | <0.1μc/m2 | IEC61340-2-2 | ||||
| a對于產(chǎn)品認(rèn)可，測試環(huán)境條件：濕度為(12±3)%RH,(50±5)%RH;溫度23℃±2℃。沒規(guī)定時(shí)，環(huán)境預(yù)處理時(shí)間最短為48h; b符合性驗(yàn)證列出的測試方法僅適于基本的測試要求；
c本表中使用的符號：R點(diǎn)對點(diǎn)電阻；R.對地電阻；R?對接地點(diǎn)的電阻；R與人體接觸的系統(tǒng)電阻；R,表面電阻；R.體積電阻；Ru?是指雙線間絕緣電阻；I泄漏電流；U泄漏電壓； d?ESD地板測量，推薦使用最大測試電壓為100V; e操作靜電敏感電子產(chǎn)品的人員通過地板接地，接地要求參照表2要求執(zhí)行； f預(yù)防CDM模式所致ESDS產(chǎn)品損壞，接觸靜電敏感電子產(chǎn)品的材料、物品最低電阻限值1×103Ω; 8工作表面是指放置未受保護(hù)的靜電敏感電子產(chǎn)品的表面；?BV表示離子化靜電消除器殘余電壓。 |
||||||
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6.3.2.6?應(yīng)避免將靜電敏感電子產(chǎn)品直接裸放在傳輸線、存放架、運(yùn)轉(zhuǎn)車等物體金屬表面上，可采取 將靜電耗散材料(橡膠墊等)放置在靜電敏感電子產(chǎn)品與金屬表面之間的隔離措施。
6.3.2.7 ?????EPA內(nèi)所用防靜電裝備、產(chǎn)品等的防靜電性能應(yīng)與其使用壽命相符。如無法滿足要求，采取臨?時(shí)抗靜電劑處理措施時(shí)，則應(yīng)明確標(biāo)識(shí)防靜電性能期限，并定期進(jìn)行防靜電處理及監(jiān)測。所用抗靜電劑?應(yīng)無腐蝕性，符合環(huán)保和潔凈度(如果有)要求。
6.4??包裝
ESD防護(hù)包裝應(yīng)符合客戶合同、采購訂單、圖紙及其它文件的要求。對合同、采購訂單、圖紙或其?它文件沒有定義的ESD防護(hù)包裝，組織應(yīng)根據(jù)防護(hù)要求，在防靜電方案中提出ESD防護(hù)包裝要求。技術(shù)要?求可參考表4,推薦使用圖4所示包裝標(biāo)識(shí)。
防靜電包裝設(shè)計(jì)與選用指南如下：
g)ESD????防護(hù)包裝生產(chǎn)制造商應(yīng)將6.4條所列條款根據(jù)用戶要求與選擇編制使用指南。
主要功能代碼：
S—-?靜電放電屏蔽；?C——導(dǎo)靜電；
D-—???靜電耗散。
大
圖4?ESD?包裝標(biāo)識(shí)
6.5??標(biāo)識(shí)
應(yīng)按照客戶和靜電敏感電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的要求，參照圖5給靜電敏感電子產(chǎn)品打印標(biāo)識(shí)。靜電敏?感電子產(chǎn)品和ESD包裝上的標(biāo)識(shí)是告知用戶識(shí)別靜電敏感電子產(chǎn)品及其靜電敏感電壓，這類標(biāo)識(shí)的使用?與管理應(yīng)被納入防靜電方案中。
通常每個(gè)靜電敏感電子產(chǎn)品包裝(如包覆、小袋或快速包裝袋等)或多層包裝最外層側(cè)面應(yīng)有清晰?的標(biāo)識(shí)。
裝有靜電敏感電子產(chǎn)品包裝、周轉(zhuǎn)容器、貯存容器等應(yīng)使用圖5所示ESD標(biāo)識(shí)，往往也擴(kuò)展到裝有靜?電敏感電子產(chǎn)品貯存柜或箱柜、貨架等。
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在防靜電方案中應(yīng)說明包裝的標(biāo)識(shí)要求，在一些契約性協(xié)議中也應(yīng)規(guī)定。
圖5 ?靜電敏感電子產(chǎn)品標(biāo)識(shí)
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附??錄??A
(規(guī)范性附錄)
ESD?防護(hù)項(xiàng)目的輔助評測
A.1??概述
一?些ESD防護(hù)項(xiàng)目，有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中沒有制定所需要的限值與控制要求，因此需要制定有關(guān)規(guī)范及要求。?本附錄提供了某些ESD防護(hù)項(xiàng)目輔助評測要求。
A.2??自動(dòng)化處置設(shè)備
為了防止自動(dòng)化處置設(shè)備產(chǎn)生靜電并造成不良影響，需測量機(jī)器部件的對地電阻，并監(jiān)控和檢測產(chǎn)?品通過機(jī)器時(shí)因摩擦分離等原因產(chǎn)生的靜電電壓。此時(shí)需提出持續(xù)監(jiān)測及確定靜電源的方法與要求，其?包括機(jī)械部件對地電阻和設(shè)備靜電源的對地電位測量。
A.3??手持工具
SJ/T10694?標(biāo)準(zhǔn)提供了電氣焊接/非焊接手持工具泄漏電壓、電流和尖端對地電阻的測試方法。對其?或有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)沒有涉及的電池供電、氣動(dòng)和其它動(dòng)力源的手持工具靜電評估方法，也需要提出并列入ESD?防護(hù)項(xiàng)目中。
A.4??連續(xù)監(jiān)測器
使用連續(xù)監(jiān)測器可以杜絕員工的不規(guī)范操作。良好接地的腕帶可使人體電壓保持在20V以內(nèi)。若腕?帶佩戴接地不良時(shí)會(huì)立即通過連續(xù)監(jiān)測器察覺。無連續(xù)監(jiān)測器時(shí)，操作者不會(huì)很快知道腕帶的故障。連?續(xù)監(jiān)測器的使用有助減少或消除ESD損壞并降低點(diǎn)檢人員工作強(qiáng)度。
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附??錄??B
(規(guī)范性附錄)
電子產(chǎn)品靜電敏感度測試
B.1????概述
靜電放電失效是與靜電放電有關(guān)的、一系列復(fù)雜的相互關(guān)聯(lián)過程造成的，影響靜電放電敏感度的因??素中，自身本身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是主因，但它也受到包括靜電放電電流、電壓、靜電放電波形脈寬、靜電敏??感電子產(chǎn)品抗浪涌設(shè)計(jì)、制造工藝等等外因的顯著影響。靜電敏感器件的放電損壞大都與過電流(能量)、?過電壓密切相關(guān)。電子器件的靜電放電敏感度測試，無論是采用人體放電模型?(HBM)?、帶電器件模型?? (CDM) 等，都僅提供一個(gè)靜電放電敏感度參考值(一般是放電電壓值)。必須注意的是：很多情況下，?這些模擬電路及測試給出靜電放電敏感電壓閾值并不是在制造、制程或使用中實(shí)際造成損壞的電壓閾??值，只是提出大家共同遵守的要求。表B.1列出的標(biāo)準(zhǔn)、方法為電子產(chǎn)品的靜電放電敏感度測試提供參??考。
B.2???人體放電模型?(HBM)
人體放電模型是模擬人體手指直接放電到電子元器件的端子，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定電子元器件損害?閾值。該模型是將不同極性電壓對100pF無感電容器充電，然后通過一個(gè)無感開關(guān)接通與之串聯(lián)的一只?1500Ω無感電阻器(用于模擬人體放電回路電阻)對待測元器件放電。放電脈沖波形通常小于10ns?的上?升時(shí)間，和大約150±20ns?的衰減時(shí)間，這個(gè)模型近似一脈沖電流源。受試元器件都應(yīng)視為對HBM放電敏?感，通過HBM模型放電測試方法來確定電子元器件的人體放電模型靜電放電敏感度。
B.3??帶電器件模型?(CDM)
帶電器件模型是模擬對電子元器件充電(充電方式有多種),使其成為帶電元器件，然后通過充電??的元器件引線端子對零電位金屬體放電，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定電子元器件損害閾值(靜電放電敏感度)。?由于帶電器件模型的對地電容很小，放電波形上升時(shí)間通常小于250ps,?放電時(shí)間通常小于2ns,?所以易??受分布參數(shù)影響，同時(shí)對測試儀器采樣帶寬(不小于3GHZ)?及分布參數(shù)要求很高，這些問題處理不好， 就很難測試到電子元器件真實(shí)失效水平。
B.4????人體–金屬模型?(BMM)
人體–金屬放電模型電路與人體放電模型電路相似，只是充電無感電容容量(150pf) ??和放電回路??無感電阻阻值不同。通過對電容充電到設(shè)定的不同極性電壓后，再通過與之串聯(lián)的一只無感電阻(330Ω)?對待測儀器、設(shè)備不同敏感部位(電源接口、天線、顯示屏等等)放電，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定測試儀器、?設(shè)備的抗擾度或靜電損害閾值。放電分接觸式、非接觸式和水平耦合板、垂直耦合板放電方式。人體—-??金屬放電模型用于不同設(shè)備、儀器測試的電路參數(shù)(電容值、電阻值、放電電極結(jié)構(gòu)等)有所不同。人??體一—金屬模型主要用于設(shè)備、儀器的靜電敏感度與抗擾度測試。
T/CEIA-1002–2020
表B.1??電子元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測試標(biāo)準(zhǔn)
| 靜電放電模型 | 元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測試標(biāo)淮 |
| 人體放電模型(IBM) | IEC61340-3-1 |
| 帶電器件模型(CDM) | TEC61340-3-3 |
| 人體一金屬模型(BMM) | IEC61000-4-2 |